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激光干涉仪
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410322399.9
申请日：
2024-03-20
公开(公告)号：
CN118687670A
公开(公告)日：
2024-09-24
发明(设计)人：
林畅仁
申请人：
精工爱普生株式会社
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G01H9/00
IPC分类号：
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
李丹
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01H 9/00申请日:20240320 |
| 2024-09-24 | 公开 | 公开 |