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激光干涉仪

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210173814.X
申请日：
2022-02-24
公开(公告)号：
CN114964352B
公开(公告)日：
2024-01-16
发明(设计)人：
山田耕平
申请人：
精工爱普生株式会社
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G01D21/02
IPC分类号：
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
李丹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-01-16 授权 授权
共 50 条
[1]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 ;
清水武士 .
日本专利 :CN117705262A ,2024-03-15
[2]
激光干涉仪 [P]. 
北川润 .
中国专利 :CN114111999A ,2022-03-01
[3]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 ;
清水武士 .
日本专利 :CN114111998B ,2024-02-06
[4]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 ;
清水武士 .
中国专利 :CN114111998A ,2022-03-01
[5]
激光干涉仪以及激光干涉仪的控制方法 [P]. 
山田耕平 .
日本专利 :CN114112000B ,2024-01-16
[6]
激光干涉仪以及激光干涉仪的控制方法 [P]. 
山田耕平 .
中国专利 :CN114112000A ,2022-03-01
[7]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 ;
松尾敦司 .
日本专利 :CN118111549A ,2024-05-31
[8]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 ;
清水武士 .
中国专利 :CN115406481A ,2022-11-29
[9]
激光干涉仪及激光干涉仪的控制方法 [P]. 
林畅仁 .
中国专利 :CN115406519A ,2022-11-29
[10]
激光干涉仪 [P]. 
北川润 ;
山田耕平 .
日本专利 :CN120293294A ,2025-07-11
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