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激光干涉仪以及激光干涉仪的控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110974878.5
申请日：
2021-08-24
公开(公告)号：
CN114112000A
公开(公告)日：
2022-03-01
发明(设计)人：
山田耕平
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G01H900
IPC分类号：
代理机构：
北京金信知识产权代理有限公司 11225
代理人：
权太白
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-01 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01H 9/00 申请日:20210824 |