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激光干涉仪
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110967137.4
申请日：
2021-08-23
公开(公告)号：
CN114111998A
公开(公告)日：
2022-03-01
发明(设计)人：
山田耕平
清水武士
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G01H900
IPC分类号：
代理机构：
北京金信知识产权代理有限公司 11225
代理人：
苏萌萌
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-01 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01H 9/00 申请日:20210823 |