一种承载装置的使用方法及承载装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411023442.8
申请日
2024-07-29
公开(公告)号
CN118549477A
公开(公告)日
2024-08-27
发明(设计)人
栗宽 崔帅超 潘结春 陈帆 姚一帆 卢志钢 张伟 曹峰 贺羽
申请人
国仪量子技术(合肥)股份有限公司
申请人地址
230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼A区1-4层
IPC主分类号
G01N23/2204
IPC分类号
B25B11/00 H01J37/20 G01N23/2251
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
张培培
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种承载装置的使用方法及承载装置 [P]. 
栗宽 ;
崔帅超 ;
潘结春 ;
陈帆 ;
姚一帆 ;
卢志钢 ;
张伟 ;
曹峰 ;
贺羽 .
中国专利 :CN118549477B ,2024-11-05
[2]
一种承载装置及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
范铎 ;
张鹏斌 .
中国专利 :CN111554609B ,2025-11-11
[3]
一种承载装置及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
范铎 ;
张鹏斌 .
中国专利 :CN111554609A ,2020-08-18
[4]
承载装置、检测设备及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
卢继奎 ;
马砚忠 ;
张朝前 ;
张嵩 .
中国专利 :CN115541583A ,2022-12-30
[5]
承载装置、半导体处理设备及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
张龙 ;
黄有为 ;
张嵩 .
中国专利 :CN112509970A ,2021-03-16
[6]
承载装置、半导体处理设备及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
范铎 ;
张鹏斌 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114823457A ,2022-07-29
[7]
承载装置、半导体处理设备及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
范铎 ;
张鹏斌 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114823457B ,2025-12-19
[8]
承载装置及其使用方法 [P]. 
刘艳军 ;
丛欧 .
中国专利 :CN112319985A ,2021-02-05
[9]
承载装置及使用承载装置的镀膜装置 [P]. 
王仲培 .
中国专利 :CN102134705B ,2011-07-27
[10]
一种承载装置及其使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
范铎 ;
张鹏斌 .
中国专利 :CN114256125A ,2022-03-29