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一种承载装置及承载装置的使用方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010565922.2
申请日：
2020-06-19
公开(公告)号：
CN111554609B
公开(公告)日：
2025-11-11
发明(设计)人：
陈鲁 范铎 张鹏斌
申请人：
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址：
518109 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
宋天凯
法律状态：
授权
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-11 授权 授权
共 50 条
[1]
一种承载装置及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
范铎 ;
张鹏斌 .
中国专利 :CN111554609A ,2020-08-18
[2]
一种承载装置的使用方法及承载装置 [P]. 
栗宽 ;
崔帅超 ;
潘结春 ;
陈帆 ;
姚一帆 ;
卢志钢 ;
张伟 ;
曹峰 ;
贺羽 .
中国专利 :CN118549477B ,2024-11-05
[3]
一种承载装置的使用方法及承载装置 [P]. 
栗宽 ;
崔帅超 ;
潘结春 ;
陈帆 ;
姚一帆 ;
卢志钢 ;
张伟 ;
曹峰 ;
贺羽 .
中国专利 :CN118549477A ,2024-08-27
[4]
承载装置、检测设备及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
卢继奎 ;
马砚忠 ;
张朝前 ;
张嵩 .
中国专利 :CN115541583A ,2022-12-30
[5]
一种承载装置 [P]. 
范铎 ;
张鹏斌 ;
陈鲁 .
中国专利 :CN212182294U ,2020-12-18
[6]
承载装置、半导体处理设备及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
张龙 ;
黄有为 ;
张嵩 .
中国专利 :CN112509970A ,2021-03-16
[7]
承载装置、半导体处理设备及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
范铎 ;
张鹏斌 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114823457A ,2022-07-29
[8]
承载装置、半导体处理设备及承载装置的使用方法 [P]. 
陈鲁 ;
范铎 ;
张鹏斌 ;
张嵩 .
中国专利 :CN114823457B ,2025-12-19
[9]
承载装置及其使用方法 [P]. 
刘艳军 ;
丛欧 .
中国专利 :CN112319985A ,2021-02-05
[10]
承载装置及使用承载装置的镀膜装置 [P]. 
王仲培 .
中国专利 :CN102134705B ,2011-07-27
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