測定装置、加工装置及び測定方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20220176435

申请日：

2022-11-02

公开(公告)号：

JP2024066767A

公开(公告)日：

2024-05-16

发明(设计)人：

SHIMIZU TASUKU

申请人：

TOKYO SEIMITSU CO LTD

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/301

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

表面測定装置、加工装置及び表面測定方法[ja] [P].

HONDA TOSHIFUMI ;

TOKUNAGA DAISUKE .

日本专利 :JP2024168717A ,2024-12-05

[2]

測定装置及び測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013084621A1 ,2015-04-27

[3]

測定装置及び測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015198472A1 ,2017-05-25

[4]

測定装置及び測定方法[ja] [P].

TSUSHIMA TAKEO ;

IWAKI SATOSHI .

日本专利 :JP2024101849A ,2024-07-30

[5]

測定装置、及び測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7452227B2 ,2024-03-19

[6]

測定装置及び測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP6891074B2 ,2021-06-18

[7]

測定装置及び測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP5774150B2 ,2015-09-02

[8]

測定装置及び測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7720510B2 ,2025-08-08

[9]

測定装置及び測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7702986B2 ,2025-07-04

[10]

測定装置及び測定方法[ja] [P].

YOSHIIKE TETSUYA ;

YAMANOUCHI MANABU ;

NAKAYAMA NAOTO ;

SHIOIRI AKIHIRO ;

HARAGUCHI RYUTARO ;

KAWAMURO YUKI ;

HANDA NOBUHISA .

日本专利 :JP2025086327A ,2025-06-06

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