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レジスト組成物およびその硬化物[ja]
被引:0
申请号
:
JP20240535483
申请日
:
2023-10-26
公开(公告)号
:
JP7544311B1
公开(公告)日
:
2024-09-03
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
G03F7/004
IPC分类号
:
C08F230/08
G03F7/075
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
レジスト組成物およびレジスト膜[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019150966A1
,2021-02-12
[2]
レジスト用化合物およびレジスト組成物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2006132139A1
,2009-01-08
[3]
硬化性組成物、硬化物の製造方法、およびその硬化物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2017221935A1
,2019-04-11
[4]
硬化性組成物、硬化物の製造方法、およびその硬化物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2017170879A1
,2019-02-14
[5]
トリアジン化合物、硬化性組成物、硬化物の製造方法およびその硬化物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2018216750A1
,2020-03-26
[6]
硬化性組成物及びその硬化物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019188331A1
,2021-02-25
[7]
硬化性組成物及びその硬化物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019188333A1
,2021-03-11
[8]
硬化性組成物及びその硬化物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019188332A1
,2021-03-11
[9]
ホトレジスト組成物およびレジストパターンの形成方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2004077158A1
,2006-06-08
[10]
組成物、硬化性組成物および化合物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019142538A1
,2021-01-28
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