レジスト組成物およびその硬化物[ja]

被引:0
申请号
JP20240535483
申请日
2023-10-26
公开(公告)号
JP7544311B1
公开(公告)日
2024-09-03
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G03F7/004
IPC分类号
C08F230/08 G03F7/075
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
レジスト組成物およびレジスト膜[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019150966A1 ,2021-02-12
[2]
レジスト用化合物およびレジスト組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2006132139A1 ,2009-01-08
[3]
[4]
[6]
硬化性組成物及びその硬化物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019188331A1 ,2021-02-25
[7]
硬化性組成物及びその硬化物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019188333A1 ,2021-03-11
[8]
硬化性組成物及びその硬化物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019188332A1 ,2021-03-11
[10]
組成物、硬化性組成物および化合物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019142538A1 ,2021-01-28