炭素膜構造体及びその製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20230015503

申请日：

2023-02-03

公开(公告)号：

JP2024110736A

公开(公告)日：

2024-08-16

发明(设计)人：

AKASAKA DAIKI HARADA MASARU AONO YUKO

申请人：

TOKYO INST TECH

申请人地址：

IPC主分类号：

C01B32/05

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

硬化膜製造装置及び硬化膜の製造方法[ja] [P].

HASHIMOTO NAOKI ;

OMOTO ATSUSHI ;

TAKAHASHI NORIAKI .

日本专利 :JP2024117206A ,2024-08-29

[2]

半導体製造装置及び製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007043206A1 ,2009-04-16

[3]

電子部品構造体の製造装置、プラズマ照射装置、および電子部品構造体の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7772357B2 ,2025-11-18

[4]

棒状部材配置構造、紫外線照射装置及びその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7544522B2 ,2024-09-03

[5]

立体物の製造装置及び立体物の製造方法[ja] [P].

YAMAGUCHI NAO ;

YOSHII KOHEI .

日本专利 :JP2025019446A ,2025-02-07

[6]

半導体装置の製造装置および製造方法[ja] [P].

SEYAMA KOHEI ;

NOMURA KATSUTOSHI .

日本专利 :JP2024036171A ,2024-03-15

[7]

検査装置、包装体製造装置及び包装体製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6752941B1 ,2020-09-09

[8]

半導体装置の製造方法、半導体製造装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014049696A1 ,2016-08-22

[9]

半導体装置の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011074075A1 ,2013-04-25

[10]

照射装置及び造形物の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7192820B2 ,2022-12-20

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