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異物除去方法、形成方法、物品の製造方法、異物除去装置、システム、およびテンプレート[ja]

被引：0
申请号：
JP20220073675
申请日：
2022-04-27
公开(公告)号：
JP2023162948A
公开(公告)日：
2023-11-09
发明(设计)人：
AZUMA HISAFUMI
申请人：
CANON KK
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/027
IPC分类号：
B29C59/02 H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 46 条
[1]
異物除去方法、形成方法、物品の製造方法、異物除去装置、およびシステム[ja] [P]. 
SAKATA YUJI .
日本专利 :JP2024146289A ,2024-10-15
[2]
異物除去方法、異物除去装置、及び物品の製造方法[ja] [P]. 
YONEKAWA MASAMI ;
SAITO ARIHIRO ;
AZUMA HISAFUMI .
日本专利 :JP2024160394A ,2024-11-13
[3]
異物除去方法、基板処理システム、および物品の製造方法[ja] [P]. 
TAKUHARA HIROYUKI ;
AZUMA HISAFUMI ;
MURAKAMI YOSUKE ;
IFUKU TOSHIHIRO .
日本专利 :JP2024124964A ,2024-09-13
[4]
膜形成方法、膜形成装置、および物品製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025182613A ,2025-12-15
[5]
インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法[ja] [P]. 
FUJIMOTO MASATAKA ;
HAMAMOTO RYOSUKE .
日本专利 :JP2024090241A ,2024-07-04
[6]
膜形成方法、物品製造方法、および硬化性組成物[ja] [P]. 
IMAMURA SHIGEKI ;
ITO TOSHIKI ;
KINO JUNPEI .
日本专利 :JP2025107062A ,2025-07-17
[7]
インプリント装置の制御方法、インプリント装置、および物品製造方法[ja] [P]. 
HATTORI TADASHI .
日本专利 :JP2025081011A ,2025-05-27
[8]
膜形成方法、物品の製造方法及び膜形成装置[ja] [P]. 
TAMURA MASAHIRO ;
ITO TOSHIKI ;
IMAMURA SHIGEKI .
日本专利 :JP2025079190A ,2025-05-21
[9]
硬化物の製造方法、硬化物および眼鏡レンズ基材[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018003058A1 ,2019-01-17
[10]
硬化物の製造方法、硬化物および眼鏡レンズ基材[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018003061A1 ,2019-01-17
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