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異物除去方法、形成方法、物品の製造方法、異物除去装置、およびシステム[ja]

被引：0
申请号：
JP20230059092
申请日：
2023-03-31
公开(公告)号：
JP2024146289A
公开(公告)日：
2024-10-15
发明(设计)人：
SAKATA YUJI
申请人：
CANON KK
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/027
IPC分类号：
G03F1/82 H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
異物除去方法、形成方法、物品の製造方法、異物除去装置、システム、およびテンプレート[ja] [P]. 
AZUMA HISAFUMI .
日本专利 :JP2023162948A ,2023-11-09
[2]
異物除去方法、異物除去装置、及び物品の製造方法[ja] [P]. 
YONEKAWA MASAMI ;
SAITO ARIHIRO ;
AZUMA HISAFUMI .
日本专利 :JP2024160394A ,2024-11-13
[3]
異物除去方法、基板処理システム、および物品の製造方法[ja] [P]. 
TAKUHARA HIROYUKI ;
AZUMA HISAFUMI ;
MURAKAMI YOSUKE ;
IFUKU TOSHIHIRO .
日本专利 :JP2024124964A ,2024-09-13
[4]
膜形成方法、膜形成装置、および物品製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025182613A ,2025-12-15
[5]
膜形成方法、物品製造方法、および硬化性組成物[ja] [P]. 
IMAMURA SHIGEKI ;
ITO TOSHIKI ;
KINO JUNPEI .
日本专利 :JP2025107062A ,2025-07-17
[6]
膜形成方法、物品の製造方法及び膜形成装置[ja] [P]. 
TAMURA MASAHIRO ;
ITO TOSHIKI ;
IMAMURA SHIGEKI .
日本专利 :JP2025079190A ,2025-05-21
[7]
成形方法、成形装置、および物品製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025171393A ,2025-11-20
[8]
造形物の製造方法及び造形物の製造装置[ja] [P]. 
HONGO KENTA .
日本专利 :JP2024047015A ,2024-04-05
[9]
造形物の製造方法及び造形物の製造装置[ja] [P]. 
HONGO KENTA .
日本专利 :JP2024047014A ,2024-04-05
[10]
印刷物の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7669569B1 ,2025-04-28
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