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研磨パッド及び研磨方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20220125831
申请日：
2022-08-05
公开(公告)号：
JP2024022331A
公开(公告)日：
2024-02-16
发明(设计)人：
ARIFUKU NORIHISA SATO TAKESHI
申请人：
DISCO ABRASIVE SYSTEMS LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
B24B37/24
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
研磨パッド及び研磨方法[ja] [P]. 
SUZUKI KOSHIRO ;
HOTTA HIDEJI ;
KIMURA MASAMITSU .
日本专利 :JP2024134805A ,2024-10-04
[2]
研磨パッド及び研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014141889A1 ,2017-02-16
[3]
研磨パッド及び研磨装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013118578A1 ,2015-05-11
[4]
研磨パッド、研磨工具、及び研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020054823A1 ,2021-08-30
[5]
研磨パッド及び研磨パッドの製造方法[ja] [P]. 
TATENO TEPPEI ;
KURIHARA HIROSHI ;
YAMAGUCHI SATSUKI ;
TAKAMIZAWA YAMATO .
日本专利 :JP2025013614A ,2025-01-24
[6]
研磨パッド及び研磨パッドの製造方法[ja] [P]. 
TATENO TEPPEI ;
KURIHARA HIROSHI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
KAWASAKI TETSUAKI ;
OCHI KEISUKE ;
MORIAKI RYOMA .
日本专利 :JP2025059378A ,2025-04-10
[7]
研磨パッド及び研磨パッドの製造方法[ja] [P]. 
TATENO TEPPEI ;
KURIHARA HIROSHI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
KAWASAKI TETSUAKI ;
OCHI KEISUKE ;
MORIAKI RYOMA ;
CHEN YIJU .
日本专利 :JP2025060447A ,2025-04-10
[8]
研磨パッド[ja] [P]. 
日本专利 :JP1744142S ,2023-05-15
[9]
研磨パッド[ja] [P]. 
日本专利 :JP1744004S ,2023-05-12
[10]
研磨パッド[ja] [P]. 
日本专利 :JP3239793U ,2022-11-11
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