研磨パッド及び研磨方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20230045183

申请日：

2023-03-22

公开(公告)号：

JP2024134805A

公开(公告)日：

2024-10-04

发明(设计)人：

SUZUKI KOSHIRO HOTTA HIDEJI KIMURA MASAMITSU

申请人：

DISCO ABRASIVE SYSTEMS LTD

申请人地址：

IPC主分类号：

B24B37/12

IPC分类号：

B24B7/04 B24B37/20 B24B37/24 H01L21/304

代理机构：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

研磨パッド及び研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014141889A1 ,2017-02-16

[2]

研磨パッド及び研磨方法[ja] [P].

ARIFUKU NORIHISA ;

SATO TAKESHI .

日本专利 :JP2024022331A ,2024-02-16

[3]

研磨パッド及び研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013118578A1 ,2015-05-11

[4]

研磨パッド、研磨工具、及び研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020054823A1 ,2021-08-30

[5]

研磨パッド及び研磨パッドの製造方法[ja] [P].

TATENO TEPPEI ;

KURIHARA HIROSHI ;

YAMAGUCHI SATSUKI ;

TAKAMIZAWA YAMATO .

日本专利 :JP2025013614A ,2025-01-24

[6]

研磨パッド及び研磨パッドの製造方法[ja] [P].

TATENO TEPPEI ;

KURIHARA HIROSHI ;

TAKAMIZAWA YAMATO ;

KAWASAKI TETSUAKI ;

OCHI KEISUKE ;

MORIAKI RYOMA .

日本专利 :JP2025059378A ,2025-04-10

[7]

研磨パッド及び研磨パッドの製造方法[ja] [P].

TATENO TEPPEI ;

KURIHARA HIROSHI ;

TAKAMIZAWA YAMATO ;

KAWASAKI TETSUAKI ;

OCHI KEISUKE ;

MORIAKI RYOMA ;

CHEN YIJU .

日本专利 :JP2025060447A ,2025-04-10

[8]

研磨パッド、及び研磨加工物の製造方法[ja] [P].

SASATANI KENTA .

日本专利 :JP2024144933A ,2024-10-15

[9]

研磨パッド[ja] [P].

日本专利 :JP1744142S ,2023-05-15

[10]

研磨パッド[ja] [P].

日本专利 :JP1744004S ,2023-05-12

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