インプリント装置、インプリント方法、および物品製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20220205992

申请日：

2022-12-22

公开(公告)号：

JP2024090242A

公开(公告)日：

2024-07-04

发明(设计)人：

HAMAMOTO RYOSUKE

申请人：

CANON KK

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/027

IPC分类号：

B29C59/02

代理机构：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

インプリント装置、インプリント方法、および、物品製造方法[ja] [P].

NOMURA MASARU ;

NAKAGAWA KAZUKI .

日本专利 :JP2025107931A ,2025-07-22

[2]

インプリント装置および物品製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022153628A ,2022-10-12

[3]

インプリント装置、および物品製造方法[ja] [P].

KOIDE HIROYUKI .

日本专利 :JP2024168217A ,2024-12-05

[4]

インプリント装置、および物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022167687A ,2022-11-04

[5]

光インプリント用部材および光インプリント装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010095614A1 ,2012-08-23

[6]

インプリント装置及びテンプレート[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013183263A1 ,2016-01-28

[7]

微細パターン成形方法、インプリント用モールド製造方法およびインプリント用モールド並びに光学デバイス[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020080372A1 ,2021-09-16

[8]

プリンタおよびプリンタの制御方法[ja] [P].

IMAIZUMI KIYOMASA .

日本专利 :JP2025080897A ,2025-05-27

[9]

光ナノインプリント技術を用いたパターン形成方法、インプリント装置、および硬化性組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018164016A1 ,2020-01-09

[10]

インクジェットプリンタおよびその使用方法[ja] [P].

KIMURA REI ;

MUKUOKI ARATA ;

TAKANO TAKAFUMI ;

TOKITA YUKI .

日本专利 :JP2025109461A ,2025-07-25

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