窒化珪素質膜の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20230525593
申请日
2021-11-17
公开(公告)号
JP2023548821A
公开(公告)日
2023-11-21
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C09D183/16
IPC分类号
C08G77/54 H01L21/31 H01L21/318
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[4]
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[5]
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SUKETANI MASAHITO ;
UMEHARA TAKAHIDE .
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[6]
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[7]
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[10]
窒化包装鋼材の製造方法[ja] [P]. 
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