金属酸化物膜形成性組成物、金属酸化物膜形成性組成物の製造方法、及び金属酸化物膜形成性組成物を用いた金属酸化物膜の製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20220101066

申请日：

2022-06-23

公开(公告)号：

JP2024002084A

公开(公告)日：

2024-01-11

发明(设计)人：

YAMAUCHI KENICHI NODA KUNIHIRO TAKAHASHI MICHIHITO HARAGUCHI SAEKO YAMANOUCHI ATSUSHI SHIODA MASARU

申请人：

TOKYO OHKA KOGYO CO LTD

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/316

IPC分类号：

C09D1/04 C09D7/40

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

金属酸化物膜形成性組成物、及びこれを用いた金属酸化物膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022131493A ,2022-09-07

[2]

金属酸化物膜形成用組成物及び金属酸化物膜[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014203951A1 ,2017-02-23

[3]

金属酸化物膜形成用組成物及び金属酸化物膜[ja] [P].

日本专利 :JP6383983B2 ,2018-09-05

[4]

金属酸化物膜形成用組成物[ja] [P].

NODA KUNIHIRO ;

YAMAUCHI KENICHI ;

TAKAHASHI MICHIHITO ;

HARAGUCHI SAEKO .

日本专利 :JP2024002089A ,2024-01-11

[5]

金属酸化物膜形成用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP5776400B2 ,2015-09-09

[6]

金属酸化物膜形成用組成物[ja] [P].

NODA KUNIHIRO ;

YAMAUCHI KENICHI ;

SASAKI TOMOAKI ;

TAKAHASHI MICHIHITO ;

KOBAYASHI TAKANORI .

日本专利 :JP2024002088A ,2024-01-11

[7]

金属酸化物膜および金属酸化物膜の成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023036656A ,2023-03-14

[8]

金属酸化物の成膜方法[ja] [P].

YAMAZAKI SHUNPEI ;

KAKEHATA TETSUYA ;

KAWAKAMI SACHIKO ;

ISAKA FUMITO ;

EGI YUJI .

日本专利 :JP2024012148A ,2024-01-25

[9]

金属酸化物の成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP7678789B2 ,2025-05-16

[10]

金属酸化物粒子、組成物および金属酸化物粒子の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6251478B2 ,2017-12-20

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