金属酸化物膜形成性組成物、及びこれを用いた金属酸化物膜の製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20210030462

申请日：

2021-02-26

公开(公告)号：

JP2022131493A

公开(公告)日：

2022-09-07

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C18/12

IPC分类号：

C01B13/18 C01G23/053 C01G25/02

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共 50 条

[1]

金属酸化物膜形成性組成物、金属酸化物膜形成性組成物の製造方法、及び金属酸化物膜形成性組成物を用いた金属酸化物膜の製造方法[ja] [P].

YAMAUCHI KENICHI ;

NODA KUNIHIRO ;

TAKAHASHI MICHIHITO ;

HARAGUCHI SAEKO ;

YAMANOUCHI ATSUSHI ;

SHIODA MASARU .

日本专利 :JP2024002084A ,2024-01-11

[2]

金属酸化物膜形成用組成物及び金属酸化物膜[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014203951A1 ,2017-02-23

[3]

金属酸化物膜形成用組成物及び金属酸化物膜[ja] [P].

日本专利 :JP6383983B2 ,2018-09-05

[4]

金属酸化物膜形成用組成物[ja] [P].

NODA KUNIHIRO ;

YAMAUCHI KENICHI ;

TAKAHASHI MICHIHITO ;

HARAGUCHI SAEKO .

日本专利 :JP2024002089A ,2024-01-11

[5]

金属酸化物膜形成用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP5776400B2 ,2015-09-09

[6]

金属酸化物膜形成用組成物[ja] [P].

NODA KUNIHIRO ;

YAMAUCHI KENICHI ;

SASAKI TOMOAKI ;

TAKAHASHI MICHIHITO ;

KOBAYASHI TAKANORI .

日本专利 :JP2024002088A ,2024-01-11

[7]

金属酸化物膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011155635A1 ,2013-08-15

[8]

金属酸化物膜および金属酸化物膜の成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP2023036656A ,2023-03-14

[9]

永久膜形成用組成物、及びこれを用いた永久膜の製造方法[ja] [P].

HARAGUCHI SAEKO ;

NODA KUNIHIRO ;

ASABA TAKURO .

日本专利 :JP2024040641A ,2024-03-26

[10]

金属酸化物膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6181306B2 ,2017-08-16

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