永久膜形成用組成物、及びこれを用いた永久膜の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20220145113
申请日
2022-09-13
公开(公告)号
JP2024040641A
公开(公告)日
2024-03-26
发明(设计)人
HARAGUCHI SAEKO NODA KUNIHIRO ASABA TAKURO
申请人
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
申请人地址
IPC主分类号
G03F7/004
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
犠牲膜形成用組成物、及びこれを用いた犠牲膜の製造方法[ja] [P]. 
NODA KUNIHIRO ;
YAMAUCHI KENICHI ;
HARAGUCHI SAEKO ;
YAMANOUCHI ATSUSHI ;
SHIODA MASARU .
日本专利 :JP2024002086A ,2024-01-11
[4]
金属酸化物膜形成性組成物、金属酸化物膜形成性組成物の製造方法、及び金属酸化物膜形成性組成物を用いた金属酸化物膜の製造方法[ja] [P]. 
YAMAUCHI KENICHI ;
NODA KUNIHIRO ;
TAKAHASHI MICHIHITO ;
HARAGUCHI SAEKO ;
YAMANOUCHI ATSUSHI ;
SHIODA MASARU .
日本专利 :JP2024002084A ,2024-01-11
[5]
[9]
膜形成用組成物、及び積層体の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017217474A1 ,2019-02-14