研磨工具、研磨システムおよび研磨方法[ja]

被引:0
申请号
JP20240506635
申请日
2022-07-26
公开(公告)号
JP2024529532A
公开(公告)日
2024-08-06
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
B24B57/02
IPC分类号
B24B13/02
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
研磨工具、研磨方法および研磨装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015068500A1 ,2017-03-09
[2]
研磨工具、研磨方法および研磨装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6453228B2 ,2019-01-16
[3]
研磨方法および研磨システム[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025162266A ,2025-10-27
[4]
研磨工具、研磨方法及び研磨装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015190189A1 ,2017-04-20
[5]
研磨工具、研磨方法及び研磨装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6211188B2 ,2017-10-11
[6]
研磨方法及び研磨工具[ja] [P]. 
日本专利 :JP7684081B2 ,2025-05-27
[7]
研磨パッド、研磨工具、及び研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020054823A1 ,2021-08-30
[9]
研磨工具、研磨方法及研磨装置 [P]. 
堀越崇 .
中国专利 :CN106457525A ,2017-02-22
[10]
研磨工具、研磨方法和研磨装置 [P]. 
萩原弦一郎 .
中国专利 :CN105531084A ,2016-04-27