圧電積層体、圧電積層ウエハ、及び圧電積層体の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20230047182
申请日
2023-03-23
公开(公告)号
JP2024136170A
公开(公告)日
2024-10-04
发明(设计)人
KURODA TOSHIAKI SHIBATA KENJI WATANABE KAZUTOSHI
申请人
SUMITOMO CHEMICAL CO
申请人地址
IPC主分类号
H10N30/853
IPC分类号
C23C14/08 C23C14/58 H10N30/076 H10N30/082 H10N30/20
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
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