ワーク保持部材、積層体、及び、ワーク保持部材の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20220208182
申请日
2022-12-26
公开(公告)号
JP2024092331A
公开(公告)日
2024-07-08
发明(设计)人
SATO KEISUKE ISEKI RYO TANAKA AKIKO SUZUKI TATSUYA
申请人
NITTO DENKO CORP
申请人地址
IPC主分类号
B32B5/18
IPC分类号
B32B7/12 B32B27/00 H01L21/50
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
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[43]
[45]
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TANAKA KEIKO .
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