共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆抓取机械手、抓取设备及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411275188.0
申请日：
2024-09-12
公开(公告)号：
CN118888509A
公开(公告)日：
2024-11-01
发明(设计)人：
贾侦华
张奇
伊文君
徐杰
申请人：
北京中拓光电科技有限公司
申请人地址：
102200 北京市昌平区科技园区超前路23号院C区1层106号
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
北京市
市辖区
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-01 | 公开 | 公开 |
| 2024-11-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20240912 |