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一种半导体晶圆抓取机械手及其抓取方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411851215.4
申请日：
2024-12-16
公开(公告)号：
CN119314939B
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
郑彦 易正瑜 廖毅
申请人：
深圳汇义科技有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区观澜街道广培社区裕新路7号4栋103
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67 H01L21/677
代理机构：
深圳市国亨知识产权代理事务所(普通合伙) 44733
代理人：
李夏宏
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-07 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20241216
2025-01-14 公开 公开
2025-02-18 授权 授权
共 50 条
[1]
一种半导体晶圆抓取机械手及其抓取方法 [P]. 
郑彦 ;
易正瑜 ;
廖毅 .
中国专利 :CN119314939A ,2025-01-14
[2]
一种晶圆抓取机械手 [P]. 
罗永胜 .
中国专利 :CN111834283A ,2020-10-27
[3]
一种晶圆抓取机械手 [P]. 
罗永胜 .
中国专利 :CN111834283B ,2024-05-03
[4]
一种晶圆抓取机械手、抓取设备及方法 [P]. 
贾侦华 ;
张奇 ;
伊文君 ;
徐杰 .
中国专利 :CN118888509A ,2024-11-01
[5]
一种晶圆抓取机械手及抓取设备 [P]. 
贾侦华 ;
张奇 ;
伊文君 ;
徐杰 .
中国专利 :CN222883517U ,2025-05-16
[6]
一种半导体封装抓取机械手 [P]. 
肖锦成 ;
孙彩霞 ;
唐小峄 .
中国专利 :CN117644526A ,2024-03-05
[7]
一种半导体封装抓取机械手 [P]. 
肖锦成 ;
孙彩霞 ;
唐小峄 .
中国专利 :CN117644526B ,2024-04-05
[8]
一种玻璃晶圆抓取机械手 [P]. 
陈跃华 ;
王建国 ;
卜志超 ;
余本成 ;
陈时兴 .
中国专利 :CN221716909U ,2024-09-17
[9]
一种无篮晶圆抓取机械手 [P]. 
钱诚 ;
李刚 ;
李文亭 .
中国专利 :CN212676236U ,2021-03-09
[10]
晶圆盒抓取专用机械手 [P]. 
高翔鹰 ;
张少阳 ;
裴文龙 ;
陈晨 .
中国专利 :CN210349803U ,2020-04-17
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