研磨装置和研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411234357.6

申请日：

2021-03-05

公开(公告)号：

CN118905916A

公开(公告)日：

2024-11-08

发明(设计)人：

森浦拓也外崎宏曾根忠一伊藤雅佳小畠严贵松尾尚典寺田哲也

申请人：

株式会社荏原制作所

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B37/30

IPC分类号：

B24B57/02 B24B37/04 B24B41/02 B24B37/10 H01L21/306 B24B37/34

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/30申请日:20210305
2024-11-08	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨装置、处理系统和研磨方法 [P].

森浦拓也 ;

外崎宏 ;

曾根忠一 ;

伊藤雅佳 ;

小畠严贵 ;

松尾尚典 ;

寺田哲也 .

中国专利 :CN113352229A ,2021-09-07

[2]

研磨装置和研磨方法 [P].

伊藤雅佳 ;

松尾尚典 ;

小畠严贵 ;

森浦拓也 .

中国专利 :CN113635215A ,2021-11-12

[3]

研磨装置及研磨方法 [P].

伊藤雅佳 ;

小畠严贵 .

中国专利 :CN115592558A ,2023-01-13

[4]

基板研磨装置和基板研磨方法 [P].

藤本拓矢 ;

高田畅行 .

中国专利 :CN115139214A ,2022-10-04

[5]

研磨装置、研磨方法和研磨头 [P].

内山圭介 ;

小寺健治 .

日本专利 :CN120606325A ,2025-09-09

[6]

研磨装置和研磨方法 [P].

关正也 ;

户川哲二 ;

中西正行 ;

松田尚起 ;

吉田笃史 .

中国专利 :CN102699794B ,2012-10-03

[7]

研磨方法和研磨装置 [P].

大野胜俊 ;

松尾尚典 .

中国专利 :CN102601719A ,2012-07-25

[8]

研磨盘和研磨装置 [P].

顾浩 ;

杨俊男 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN118700019A ,2024-09-27

[9]

研磨头和研磨装置 [P].

冯惠敏 .

中国专利 :CN202428311U ,2012-09-12

[10]

研磨装置和研磨方法 [P].

守屋宗幸 ;

铃木孝雅 .

中国专利 :CN113997193A ,2022-02-01

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