研磨装置和研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110514520.4

申请日：

2021-05-10

公开(公告)号：

CN113635215A

公开(公告)日：

2021-11-12

发明(设计)人：

伊藤雅佳松尾尚典小畠严贵森浦拓也

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3720 B24B3734 B24B5702 B24B100

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-12	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨装置及研磨方法 [P].

陈柏翰 ;

外崎宏 ;

曾根忠一 .

中国专利 :CN110802506A ,2020-02-18

[2]

研磨装置和研磨方法 [P].

森浦拓也 ;

外崎宏 ;

曾根忠一 ;

伊藤雅佳 ;

小畠严贵 ;

松尾尚典 ;

寺田哲也 .

日本专利 :CN118905916A ,2024-11-08

[3]

研磨装置及研磨方法 [P].

盐川阳一 ;

八木圭太 ;

小林洋一 .

中国专利 :CN104924198B ,2015-09-23

[4]

研磨方法和研磨装置 [P].

大野胜俊 ;

松尾尚典 .

中国专利 :CN102601719A ,2012-07-25

[5]

研磨装置和研磨方法 [P].

守屋宗幸 ;

铃木孝雅 .

中国专利 :CN113997193A ,2022-02-01

[6]

研磨装置和研磨方法 [P].

镰田修一 .

中国专利 :CN107199503B ,2017-09-26

[7]

研磨装置和研磨装置的研磨终点检测方法 [P].

中村裕贵 ;

铃木佑多 ;

渡边裕辅 ;

松田道昭 ;

山本弘贵 ;

高桥太郎 .

日本专利 :CN117836091A ,2024-04-05

[8]

研磨装置、处理系统和研磨方法 [P].

森浦拓也 ;

外崎宏 ;

曾根忠一 ;

伊藤雅佳 ;

小畠严贵 ;

松尾尚典 ;

寺田哲也 .

中国专利 :CN113352229A ,2021-09-07

[9]

研磨装置及研磨方法 [P].

伊东伴 ;

本岛靖之 ;

尹昇镐 ;

鱼住修司 ;

三浦骏平 ;

松尾尚典 ;

铃木宪一 .

中国专利 :CN115302398A ,2022-11-08

[10]

研磨装置及研磨方法 [P].

外崎宏 ;

陈柏翰 ;

曾根忠一 .

日本专利 :CN110802519B ,2024-05-14

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