研磨装置及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910720309.0

申请日：

2019-08-06

公开(公告)号：

CN110802519B

公开(公告)日：

2024-05-14

发明(设计)人：

外崎宏陈柏翰曾根忠一

申请人：

株式会社荏原制作所

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B57/02

IPC分类号：

B24B53/017 H01L21/67

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

肖华

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-14	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨装置及研磨方法 [P].

外崎宏 ;

陈柏翰 ;

曾根忠一 .

中国专利 :CN110802519A ,2020-02-18

[2]

研磨装置及研磨方法 [P].

盐川阳一 ;

八木圭太 ;

小林洋一 .

中国专利 :CN104924198B ,2015-09-23

[3]

研磨装置及研磨方法 [P].

陈柏翰 ;

外崎宏 ;

曾根忠一 .

中国专利 :CN110802506A ,2020-02-18

[4]

研磨垫、研磨方法及研磨装置 [P].

中川泰忠 ;

小池荣二郎 .

中国专利 :CN101045290A ,2007-10-03

[5]

研磨装置及研磨方法 [P].

伊东伴 ;

本岛靖之 ;

尹昇镐 ;

鱼住修司 ;

三浦骏平 ;

松尾尚典 ;

铃木宪一 .

中国专利 :CN115302398A ,2022-11-08

[6]

研磨装置及研磨方法 [P].

宫崎充 ;

小林贤一 ;

本坊光朗 ;

今村听 ;

董博宇 ;

筱崎弘行 .

中国专利 :CN103786091B ,2014-05-14

[7]

研磨方法及研磨装置 [P].

石井遊 ;

户川哲二 ;

吉田笃史 .

中国专利 :CN112706002A ,2021-04-27

[8]

研磨装置及研磨方法 [P].

富樫真吾 ;

福岛诚 ;

並木计介 ;

锅谷治 ;

山木晓 ;

大和田朋子 ;

加藤良和 .

中国专利 :CN111376171A ,2020-07-07

[9]

研磨装置及研磨方法 [P].

梅本正雄 ;

曾根忠一 ;

相泽英夫 ;

小菅隆一 ;

江里口正晃 .

中国专利 :CN103786090A ,2014-05-14

[10]

研磨装置及研磨方法 [P].

高桥信行 ;

木下将毅 .

日本专利 :CN114302789B ,2024-06-25

← 1 2 3 4 5 →