研磨装置及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080060537.0

申请日：

2020-08-12

公开(公告)号：

CN114302789B

公开(公告)日：

2024-06-25

发明(设计)人：

高桥信行木下将毅

申请人：

株式会社荏原制作所

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B37/20 B24B37/30 B24B37/34 B24B47/12 B24B49/00 B24B49/12 B24B51/00 B24B53/12 B24B57/02

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-25	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨装置及研磨方法 [P].

高桥信行 ;

木下将毅 .

中国专利 :CN114302789A ,2022-04-08

[2]

研磨垫、研磨方法及研磨装置 [P].

中川泰忠 ;

小池荣二郎 .

中国专利 :CN101045290A ,2007-10-03

[3]

研磨装置及研磨方法 [P].

伊东伴 ;

本岛靖之 ;

尹昇镐 ;

鱼住修司 ;

三浦骏平 ;

松尾尚典 ;

铃木宪一 .

中国专利 :CN115302398A ,2022-11-08

[4]

研磨装置及研磨方法 [P].

外崎宏 ;

陈柏翰 ;

曾根忠一 .

日本专利 :CN110802519B ,2024-05-14

[5]

研磨方法及研磨装置 [P].

石井遊 ;

户川哲二 ;

吉田笃史 .

中国专利 :CN112706002A ,2021-04-27

[6]

研磨装置及研磨方法 [P].

富樫真吾 ;

福岛诚 ;

並木计介 ;

锅谷治 ;

山木晓 ;

大和田朋子 ;

加藤良和 .

中国专利 :CN111376171A ,2020-07-07

[7]

研磨装置及研磨方法 [P].

盐川阳一 ;

八木圭太 ;

小林洋一 .

中国专利 :CN104924198B ,2015-09-23

[8]

研磨装置及研磨方法 [P].

外崎宏 ;

陈柏翰 ;

曾根忠一 .

中国专利 :CN110802519A ,2020-02-18

[9]

研磨方法及研磨装置 [P].

石井遊 ;

户川哲二 ;

吉田笃史 .

日本专利 :CN112706002B ,2024-05-14

[10]

研磨装置及研磨方法 [P].

伊藤雅佳 ;

小畠严贵 .

中国专利 :CN115592558A ,2023-01-13

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