研磨方法及研磨装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011147586.6

申请日：

2020-10-23

公开(公告)号：

CN112706002A

公开(公告)日：

2021-04-27

发明(设计)人：

石井遊户川哲二吉田笃史

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B100

IPC分类号：

B24B3710 B24B3734

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/00 申请日:20201023
2021-04-27	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨方法及研磨装置 [P].

石井遊 ;

户川哲二 ;

吉田笃史 .

日本专利 :CN112706002B ,2024-05-14

[2]

研磨装置及研磨方法 [P].

伊东伴 ;

本岛靖之 ;

尹昇镐 ;

鱼住修司 ;

三浦骏平 ;

松尾尚典 ;

铃木宪一 .

中国专利 :CN115302398A ,2022-11-08

[3]

研磨装置及研磨方法 [P].

伊藤雅佳 ;

小畠严贵 .

中国专利 :CN115592558A ,2023-01-13

[4]

研磨机构、研磨头、研磨装置及研磨方法 [P].

坂下干也 ;

松井之辉 ;

侧濑聪文 .

中国专利 :CN112936089A ,2021-06-11

[5]

研磨垫、研磨方法及研磨装置 [P].

中川泰忠 ;

小池荣二郎 .

中国专利 :CN101045290A ,2007-10-03

[6]

研磨装置、研磨头及研磨方法 [P].

北桥正光 ;

龟井利之 ;

武田英俊 ;

德永祐之 ;

田尻知朗 .

中国专利 :CN1684800A ,2005-10-19

[7]

研磨装置及研磨方法 [P].

外崎宏 ;

陈柏翰 ;

曾根忠一 .

日本专利 :CN110802519B ,2024-05-14

[8]

研磨装置及研磨方法 [P].

吉田博 ;

福岛诚 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN104942698A ,2015-09-30

[9]

研磨装置及研磨方法 [P].

富樫真吾 ;

福岛诚 ;

並木计介 ;

锅谷治 ;

山木晓 ;

大和田朋子 ;

加藤良和 .

中国专利 :CN111376171A ,2020-07-07

[10]

研磨装置及研磨方法 [P].

並木计介 ;

安田穗积 ;

锅谷治 ;

福岛诚 ;

富樫真吾 ;

山木晓 ;

矶野慎太郎 .

中国专利 :CN104942699A ,2015-09-30

← 1 2 3 4 5 →