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一种台面半导体器件玻璃钝化工艺
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411448079.4
申请日：
2024-10-17
公开(公告)号：
CN118969602A
公开(公告)日：
2024-11-15
发明(设计)人：
吴昊
冯羽
申请人：
嘉兴傲威半导体有限公司
申请人地址：
314000 浙江省嘉兴市海宁市马桥街道沧平路1号1幢1层103室
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
C23C16/44
C23C16/52
代理机构：
无锡知更鸟知识产权代理事务所(普通合伙) 32468
代理人：
张胜飞
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-27 | 授权 | 授权 |
| 2024-11-15 | 公开 | 公开 |
| 2024-12-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20241017 |