共 50 条
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搬送装置及び成膜装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20220009182
申请日：
2022-01-25
公开(公告)号：
JP7507182B2
公开(公告)日：
2024-06-27
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/50
IPC分类号：
C23C14/04
H01L21/677
H05B33/02
H10K50/10
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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