搬送装置、成膜装置及び制御方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20210018396

申请日：

2021-02-08

公开(公告)号：

JP7344236B2

公开(公告)日：

2023-09-13

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

B65G43/00 B65H5/06 H05B33/10 H10K50/10

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共 50 条

[1]

基板の搬送装置、成膜装置、制御方法、成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP7664051B2 ,2025-04-17

[2]

搬送装置及び成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP7350029B2 ,2023-09-25

[3]

搬送装置及び成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP7507182B2 ,2024-06-27

[4]

搬送装置及び成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP7350104B2 ,2023-09-25

[5]

成膜制御装置、成膜装置及び成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP7171092B1 ,2022-11-15

[6]

真空搬送装置及び成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP7242414B2 ,2023-03-20

[7]

基板搬送装置及び成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP7320034B2 ,2023-08-02

[8]

成膜装置及び成膜装置用基板搬送装置[ja] [P].

日本专利 :JP5856885B2 ,2016-02-10

[9]

成膜装置及び成膜装置の制御方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022090053A ,2022-06-16

[10]

成膜装置及び成膜装置の制御方法[ja] [P].

KOJIMA YASUHIKO ;

ISHIBASHI SHOTA ;

KITADA TORU .

日本专利 :JP2024011978A ,2024-01-25

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