研磨抛光装置及研磨抛光系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810919554.X
申请日
2018-08-13
公开(公告)号
CN108608313B
公开(公告)日
2024-11-01
发明(设计)人
周群飞 王缔
申请人
蓝思科技(长沙)有限公司
申请人地址
410100 湖南省长沙市长沙县长沙经济技术开发区漓湘路99号
IPC主分类号
B24B37/00
IPC分类号
B24B37/27
代理机构
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371
代理人
唐维虎
法律状态
授权
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
[1]
研磨抛光装置及研磨抛光系统 [P]. 
周群飞 ;
王缔 .
中国专利 :CN208663456U ,2019-03-29
[2]
研磨抛光装置及研磨抛光系统 [P]. 
周群飞 ;
王缔 .
中国专利 :CN108608313A ,2018-10-02
[3]
上盘工装及研磨抛光系统 [P]. 
陈丽英 ;
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[4]
半导体芯片研磨抛光方法及研磨抛光系统 [P]. 
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
光学玻璃研磨抛光系统 [P]. 
陈洪良 .
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[10]
研磨抛光装置及其研磨抛光方法 [P]. 
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杨忠义 ;
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许富铨 ;
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