等离子体监测系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420339421.6

申请日：

2024-02-23

公开(公告)号：

CN222071863U

公开(公告)日：

2024-11-26

发明(设计)人：

朴英吉鱼在湖

申请人：

三星显示有限公司

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

C23C14/34 H01J37/34

代理机构：

北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204

代理人：

刘铮;李雁华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-26	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体监测系统 [P].

李光镐 ;

南象基 ;

朴智兑 ;

印成晋 ;

林建熙 ;

张圣虎 .

韩国专利 :CN118471773A ,2024-08-09

[2]

等离子体监测系统 [P].

郑胤松 .

韩国专利 :CN118213256A ,2024-06-18

[3]

等离子体监测系统 [P].

李淳钟 ;

禹奉周 ;

郑载勋 ;

金学权 ;

姜志澔 .

中国专利 :CN102788916A ,2012-11-21

[4]

等离子体感测装置、等离子体监测系统和等离子体工艺控制方法 [P].

朴宪勇 ;

裴祥佑 ;

李瑟琪 ;

朱愿暾 .

中国专利 :CN110890258A ,2020-03-17

[5]

等离子体监测方法、等离子体监测装置和等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

山泽阳平 ;

輿水地盐 ;

松土龙夫 ;

濑川澄江 .

中国专利 :CN100520382C ,2004-10-27

[6]

等离子体监测方法和等离子体监测装置 [P].

松本直树 ;

山泽阳平 ;

輿水地盐 .

中国专利 :CN101587156B ,2009-11-25

[7]

等离子体监测方法和等离子体监测装置 [P].

松土龙夫 ;

濑川澄江 ;

輿水地盐 .

中国专利 :CN102183509B ,2011-09-14

[8]

等离子体监测装置和等离子体处理系统 [P].

金敬勋 ;

文丁一 ;

李衡周 ;

宣钟宇 ;

金东规 .

韩国专利 :CN110867364B ,2024-08-20

[9]

等离子体监测装置和等离子体处理系统 [P].

金敬勋 ;

文丁一 ;

李衡周 ;

宣钟宇 ;

金东规 .

中国专利 :CN110867364A ,2020-03-06

[10]

等离子体源、用于激发等离子体的激发系统和光学监测系统 [P].

马克·A·梅洛尼 .

中国专利 :CN110662339B ,2020-01-07

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