等离子体监测方法和等离子体监测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910142798.2

申请日：

2004-04-26

公开(公告)号：

CN101587156B

公开(公告)日：

2009-11-25

发明(设计)人：

松本直树山泽阳平輿水地盐

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01R3100

IPC分类号：

G01R2302 G01N2312 G01N2169 G01J330

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-01-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-03-09	授权	授权
2009-11-25	公开	公开
2010-12-08	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101051037521 IPC(主分类):G01R 31/00 专利申请号:2009101427982 变更事项:发明人变更前:松本直树;山泽阳平;輿水地盐;松土龙夫;濑川澄江变更后:松本直树;山泽阳平;輿水地盐

共 50 条

[1]

等离子体监测方法和等离子体监测装置 [P].

松土龙夫 ;

濑川澄江 ;

輿水地盐 .

中国专利 :CN102183509B ,2011-09-14

[2]

等离子体监测方法、等离子体监测装置和等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

山泽阳平 ;

輿水地盐 ;

松土龙夫 ;

濑川澄江 .

中国专利 :CN100520382C ,2004-10-27

[3]

等离子体监测装置和等离子体处理系统 [P].

金敬勋 ;

文丁一 ;

李衡周 ;

宣钟宇 ;

金东规 .

韩国专利 :CN110867364B ,2024-08-20

[4]

等离子体监测装置和等离子体处理系统 [P].

金敬勋 ;

文丁一 ;

李衡周 ;

宣钟宇 ;

金东规 .

中国专利 :CN110867364A ,2020-03-06

[5]

监测等离子体工艺制程的等离子体处理装置和方法 [P].

张洁 ;

刘身健 .

中国专利 :CN107546094B ,2018-01-05

[6]

等离子体感测装置、等离子体监测系统和等离子体工艺控制方法 [P].

朴宪勇 ;

裴祥佑 ;

李瑟琪 ;

朱愿暾 .

中国专利 :CN110890258A ,2020-03-17

[7]

等离子体设备及等离子体设备监测方法 [P].

陈怡杰 ;

廖耕颍 ;

宋至伟 ;

陈明凯 ;

邱瀚仁 ;

陈益弘 .

中国专利 :CN109727837B ,2019-05-07

[8]

等离子体监测结构及其制备方法及等离子体监测方法 [P].

丁甲 ;

叶蕾 ;

胡林辉 ;

王峰 ;

李乐 .

中国专利 :CN115642099A ,2023-01-24

[9]

等离子体监测系统 [P].

朴英吉 ;

鱼在湖 .

韩国专利 :CN222071863U ,2024-11-26

[10]

等离子体监测系统 [P].

李光镐 ;

南象基 ;

朴智兑 ;

印成晋 ;

林建熙 ;

张圣虎 .

韩国专利 :CN118471773A ,2024-08-09

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