等离子体监测结构及其制备方法及等离子体监测方法

被引：0

申请号：

CN202211244274.6

申请日：

2022-10-12

公开(公告)号：

CN115642099A

公开(公告)日：

2023-01-24

发明(设计)人：

丁甲叶蕾胡林辉王峰李乐

申请人：

申请人地址：

200135 上海市浦东新区云水路600号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

高雪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20221012
2023-01-24	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体监测方法和等离子体监测装置 [P].

松本直树 ;

山泽阳平 ;

輿水地盐 .

中国专利 :CN101587156B ,2009-11-25

[2]

等离子体监测方法和等离子体监测装置 [P].

松土龙夫 ;

濑川澄江 ;

輿水地盐 .

中国专利 :CN102183509B ,2011-09-14

[3]

等离子体监测方法、等离子体监测装置和等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

山泽阳平 ;

輿水地盐 ;

松土龙夫 ;

濑川澄江 .

中国专利 :CN100520382C ,2004-10-27

[4]

等离子体设备及等离子体设备监测方法 [P].

陈怡杰 ;

廖耕颍 ;

宋至伟 ;

陈明凯 ;

邱瀚仁 ;

陈益弘 .

中国专利 :CN109727837B ,2019-05-07

[5]

等离子体监测系统 [P].

朴英吉 ;

鱼在湖 .

韩国专利 :CN222071863U ,2024-11-26

[6]

等离子体监测系统 [P].

李光镐 ;

南象基 ;

朴智兑 ;

印成晋 ;

林建熙 ;

张圣虎 .

韩国专利 :CN118471773A ,2024-08-09

[7]

等离子体监测系统 [P].

郑胤松 .

韩国专利 :CN118213256A ,2024-06-18

[8]

等离子体监测系统 [P].

李淳钟 ;

禹奉周 ;

郑载勋 ;

金学权 ;

姜志澔 .

中国专利 :CN102788916A ,2012-11-21

[9]

等离子体感测装置、等离子体监测系统和等离子体工艺控制方法 [P].

朴宪勇 ;

裴祥佑 ;

李瑟琪 ;

朱愿暾 .

中国专利 :CN110890258A ,2020-03-17

[10]

等离子体蚀刻方法、等离子体蚀刻装置、等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

森口尚树 .

中国专利 :CN105103274A ,2015-11-25

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