一种半浮栅晶体管的制备方法、半浮栅晶体管及存储器件

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专利类型
发明
申请号
CN202211139739.1
申请日
2022-09-19
公开(公告)号
CN115394653B
公开(公告)日
2024-11-19
发明(设计)人
龚风丛 曹开玮
申请人
武汉新芯集成电路股份有限公司
申请人地址
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
IPC主分类号
H01L21/336
IPC分类号
H01L29/788 H10B41/30
代理机构
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280
代理人
刘芬芬
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半浮栅晶体管的制备方法、半浮栅晶体管及存储器件 [P]. 
龚风丛 ;
曹开玮 .
中国专利 :CN115394653A ,2022-11-25
[2]
半浮栅晶体管结构 [P]. 
彭坤 .
中国专利 :CN105097953B ,2015-11-25
[3]
存储器件/逻辑器件兼容的半浮栅晶体管的制造方法 [P]. 
杨仕玲 ;
马雁飞 .
中国专利 :CN119947198A ,2025-05-06
[4]
存储器件/逻辑器件兼容的半浮栅晶体管的制造方法 [P]. 
杨仕玲 ;
马雁飞 .
中国专利 :CN119947198B ,2025-09-26
[5]
一种半浮栅晶体管的制备方法 [P]. 
田武 ;
孙超 ;
江宁 .
中国专利 :CN110600380A ,2019-12-20
[6]
半浮栅晶体管工艺方法 [P]. 
曹坚 ;
何志斌 ;
景旭斌 .
中国专利 :CN106206737A ,2016-12-07
[7]
半浮栅晶体管的制作方法 [P]. 
龚风丛 ;
曹开玮 .
中国专利 :CN113471294B ,2021-10-01
[8]
半浮栅晶体管栅极的制造方法 [P]. 
潘骏杰 .
中国专利 :CN119486170A ,2025-02-18
[9]
一种双控制栅半浮栅晶体管及其制备方法 [P]. 
刘珩 ;
杨志刚 ;
冷江华 ;
关天鹏 .
中国专利 :CN114823901A ,2022-07-29
[10]
一种分栅结构的半浮栅晶体管及其制备方法 [P]. 
晁鑫 ;
王晨 ;
陈琳 ;
孙清清 ;
张卫 .
中国专利 :CN114220741A ,2022-03-22