共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
离子注入装置以及离子注入方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410296076.7
申请日：
2024-03-15
公开(公告)号：
CN119069327A
公开(公告)日：
2024-12-03
发明(设计)人：
平井裕也
赵维江
大村俊辅
中西昭仁
佐藤琢己
申请人：
日新离子机器株式会社
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H01J37/08
代理机构：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290
代理人：
崔迎宾;鹿屹
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20240315 |
| 2024-12-03 | 公开 | 公开 |