硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410528195.0

申请日：

2024-04-29

公开(公告)号：

CN118915385A

公开(公告)日：

2024-11-08

发明(设计)人：

崔世一

申请人：

三星SDI株式会社

申请人地址：

韩国京畿道龙仁市器兴区贡税路150-20号

IPC主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

H01L21/308 H01L21/311 H01L21/3213 G03F7/20 G03F7/11

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

杨俊辉;黄健

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	公开	公开
2024-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/004申请日:20240429

共 50 条

[1]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

郑主泳 ;

南沇希 ;

郑瑟基 .

韩国专利 :CN118672059A ,2024-09-20

[2]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

金瑆焕 .

韩国专利 :CN118818902A ,2024-10-22

[3]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

崔熙瑄 ;

金瑆焕 .

韩国专利 :CN118502198A ,2024-08-16

[4]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

崔世一 .

中国专利 :CN118732399A ,2024-10-01

[5]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

金尙美 ;

金瑆焕 .

韩国专利 :CN118363271A ,2024-07-19

[6]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

崔世一 .

韩国专利 :CN118915386A ,2024-11-08

[7]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

林栽范 ;

金瑆焕 ;

金昇炫 ;

金兑镐 ;

朴裕信 ;

梁善暎 .

中国专利 :CN111352300A ,2020-06-30

[8]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

蔡闰珠 .

韩国专利 :CN118625601A ,2024-09-10

[9]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

郑铉日 ;

金永珉 ;

金艺眞 ;

朴昭姸 ;

梁善暎 ;

裵信孝 ;

李性恩 ;

朴亨锡 ;

宋綵璘 .

韩国专利 :CN118689035A ,2024-09-24

[10]

硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法 [P].

南沇希 ;

朴裕信 ;

金昇炫 ;

郑瑟基 ;

朴相喆 ;

苏旻至 ;

郑主泳 .

韩国专利 :CN119310795A ,2025-01-14

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