一种晶圆理片机构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202323627471.9
申请日
2023-12-28
公开(公告)号
CN222015379U
公开(公告)日
2024-11-15
发明(设计)人
请求不公布姓名 请求不公布姓名 请求不公布姓名
申请人
赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司
申请人地址
214000 江苏省无锡市锡山区精密机械产业园4号厂房一层南侧厂房及办公场地
IPC主分类号
H01L21/68
IPC分类号
H01L21/67 H01L21/677
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
江苏省 无锡市
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种晶圆片承载机构 [P]. 
龙清海 .
中国专利 :CN222507565U ,2025-02-18
[2]
一种晶圆片理片器 [P]. 
程思义 .
中国专利 :CN206541818U ,2017-10-03
[3]
一种晶圆翻转扫片机构和晶圆翻转扫片移动的机构 [P]. 
时磊 ;
张羽成 .
中国专利 :CN222867653U ,2025-05-13
[4]
一种晶圆理片器 [P]. 
徐金红 .
中国专利 :CN214848558U ,2021-11-23
[5]
一种晶圆落槽机构 [P]. 
徐卫星 ;
马凯疆 .
中国专利 :CN222029060U ,2024-11-19
[6]
一种晶圆片铲片机构 [P]. 
姬煜 ;
赵通 .
中国专利 :CN212967661U ,2021-04-13
[7]
晶圆片铲片机构 [P]. 
李继忠 ;
李述周 ;
朱春 .
中国专利 :CN210040154U ,2020-02-07
[8]
一种晶圆片压平机构 [P]. 
廖大军 ;
蔡盘峰 .
中国专利 :CN220821487U ,2024-04-19
[9]
晶圆片收纳机构 [P]. 
李继忠 ;
李述周 ;
朱春 .
中国专利 :CN210391967U ,2020-04-24
[10]
晶圆片固定机构 [P]. 
范宏光 ;
黄国洲 ;
李志中 .
中国专利 :CN2306570Y ,1999-02-03