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インピーダンス整合装置、高周波電力出力装置、高周波装置及びインピーダンス整合装置の設計方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20210574399
申请日：
2020-01-31
公开(公告)号：
JP7404402B2
公开(公告)日：
2023-12-25
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H03H7/38
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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