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パルス高周波電源のインピーダンス整合方法および装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20170553291
申请日：
2015-04-29
公开(公告)号：
JP6619818B2
公开(公告)日：
2019-12-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H03H7/40
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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