インピーダンス整合を行わない負荷の高周波電源[ja]

被引:0
申请号
JP20140161099
申请日
2014-08-07
公开(公告)号
JP5931974B2
公开(公告)日
2016-06-08
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H02M3/155
IPC分类号
H02M7/48 H05H7/02 H05H7/18 H05H9/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
引用
下载
收藏