蓝宝石衬底单元化及侧面金属化制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311653413.5

申请日：

2023-12-05

公开(公告)号：

CN117637959B

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

李育峰宋泽润马勇张晶

申请人：

深圳市振华微电子有限公司

申请人地址：

518057 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南四道034号高新工业村W1-A座2层、3层、4层、W1-B座1层、2层、3层、R1-A座4层

IPC主分类号：

H01L33/38

IPC分类号：

H01L33/00 B23K26/38 B23K26/70

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

吴佳

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-01	公开	公开
2024-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 33/38申请日:20231205
2024-11-22	授权	授权

共 50 条

[1]

蓝宝石衬底单元化及侧面金属化制备方法 [P].

李育峰 ;

宋泽润 ;

马勇 ;

张晶 .

中国专利 :CN117637959A ,2024-03-01

[2]

纳米图案化蓝宝石衬底及其制备方法 [P].

李虞锋 ;

云峰 .

中国专利 :CN103995435B ,2014-08-20

[3]

图案化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

谢丁生 ;

谢红 .

中国专利 :CN110767779A ,2020-02-07

[4]

图形化蓝宝石衬底及其制备方法 [P].

杨云峰 ;

朱帅 .

中国专利 :CN119767899A ,2025-04-04

[5]

蓝宝石图形化衬底的制备方法 [P].

何源 ;

谢祥同 ;

何精明 .

中国专利 :CN104300046A ,2015-01-21

[6]

一种蓝宝石图形化衬底制备方法 [P].

赵德胜 ;

黄宏娟 ;

王敏锐 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN104465896A ,2015-03-25

[7]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037039A ,2018-12-18

[8]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037402A ,2018-12-18

[9]

一种蓝宝石衬底加工方法、蓝宝石衬底及LED [P].

郭文凯 ;

田晓强 ;

崔思远 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN117832337A ,2024-04-05

[10]

一种图形化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

张化宇 ;

汪桂根 ;

崔林 ;

韩杰才 .

中国专利 :CN102403420A ,2012-04-04

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