一种金属旋转靶材

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420610158.X

申请日：

2024-03-27

公开(公告)号：

CN222008009U

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

涂代旺黄勇彪周贤界

申请人：

深圳众诚达应用材料股份有限公司

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明区公明街道下村社区第二工业区16号一层

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

代理机构：

北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845

代理人：

李建刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种金属旋转靶材表面抛光装置 [P].

孔伟华 ;

马贺 ;

董冬青 .

中国专利 :CN215788886U ,2022-02-11

[2]

一种旋转靶材 [P].

覃洪高 ;

李明麟 ;

姚佳伟 ;

肖敏毅 ;

冯冬发 .

中国专利 :CN218372490U ,2023-01-24

[3]

一种旋转靶材 [P].

臧龙杰 ;

周俊荣 ;

齐东淼 ;

沈雷振 ;

曾静 .

中国专利 :CN217378016U ,2022-09-06

[4]

一种旋转靶材 [P].

常代展 ;

王雷 .

中国专利 :CN208121190U ,2018-11-20

[5]

一种旋转靶材 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

侯娟华 ;

王学泽 .

中国专利 :CN223357730U ,2025-09-19

[6]

一种旋转靶材 [P].

常代展 ;

王雷 .

中国专利 :CN217895734U ,2022-11-25

[7]

一种金属靶材 [P].

周其刚 ;

李宪民 .

中国专利 :CN211199386U ,2020-08-07

[8]

难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法 [P].

曹兴民 ;

庄志杰 ;

贾泽夏 .

中国专利 :CN104846341B ,2015-08-19

[9]

稀土金属旋转靶材的制造方法 [P].

李慧 ;

李静雅 ;

刘树峰 ;

鲁飞 ;

刘小鱼 ;

孙良成 ;

娄树普 ;

温永清 ;

王誉 .

中国专利 :CN107799253A ,2018-03-13

[10]

旋转靶材 [P].

张凤戈 ;

穆健刚 ;

马志伟 ;

李建奎 ;

杨本润 ;

刘健 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN204281849U ,2015-04-22

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