一种可调磁场的射频离子源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420253959.5

申请日：

2024-02-01

公开(公告)号：

CN221927961U

公开(公告)日：

2024-10-29

发明(设计)人：

袁逢曾李细柳杨江孙桂红祝海生梁红陈立

申请人：

东莞市科盛机电设备有限公司深圳市科和盛业技术有限公司湘潭宏大真空技术股份有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市长安镇兴成路2号101室

IPC主分类号：

H01J37/08

IPC分类号：

代理机构：

广东君龙律师事务所 44470

代理人：

朱鹏

法律状态：

授权

国省代码：

湖南省湘潭市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-29	授权	授权

共 50 条

[1]

可调制的射频离子源 [P].

王艳会 ;

赵子淳 ;

叶雨城 ;

邹洁 ;

鹿建 ;

谢斌平 .

中国专利 :CN216648217U ,2022-05-31

[2]

一种磁场可调式离子源 [P].

陈晓东 .

中国专利 :CN210223942U ,2020-03-31

[3]

一种射频线圈位置可调整的射频离子源 [P].

陈晓东 .

中国专利 :CN210223933U ,2020-03-31

[4]

射频离子源 [P].

M·L·朗福德 ;

S·N·凯恩斯 ;

A·J·马 ;

I·B·普利桑茨 .

中国专利 :CN1529898A ,2004-09-15

[5]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 ;

曾文华 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN306231123S ,2020-12-15

[6]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN307776281S ,2023-01-06

[7]

射频离子源 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN215771057U ,2022-02-08

[8]

一种射频离子源装置 [P].

杨彦章 ;

于非非 .

中国专利 :CN220420524U ,2024-01-30

[9]

射频离子源 [P].

M·L·兰富德 ;

J·F·J·托德 .

中国专利 :CN1061781C ,1998-03-04

[10]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

郑培鑫 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN221264042U ,2024-07-02

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