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晶圆清洗机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411362701.X
申请日：
2024-09-27
公开(公告)号：
CN119092441A
公开(公告)日：
2024-12-06
发明(设计)人：
左国军
李雄朋
庄海云
饶相松
申请人：
创微微电子（常州）有限公司
申请人地址：
213133 江苏省常州市新北区黄河西路790号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/68
H01L21/677
H01L21/687
B08B13/00
代理机构：
深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247
代理人：
刘方超
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-06 | 公开 | 公开 |
| 2024-12-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240927 |