晶圆清洗机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421583963.4

申请日：

2024-07-05

公开(公告)号：

CN222790111U

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

申请人：

声达半导体设备（江苏）有限公司

申请人地址：

215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇李巷村（金港大道东侧）1室

IPC主分类号：

B08B13/00

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304

代理人：

许莉莉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616B ,2025-09-12

[2]

晶圆清洗机 [P].

林楚龙 .

中国专利 :CN202146879U ,2012-02-22

[3]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616A ,2025-07-18

[4]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN307370268S ,2022-05-27

[5]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

[6]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN214488000U ,2021-10-26

[7]

晶圆清洗机 [P].

李健 ;

张彦平 ;

黄建军 ;

李成江 ;

张明思 .

中国专利 :CN206382286U ,2017-08-08

[8]

晶圆清洗机 [P].

杨再林 ;

舒雄 .

中国专利 :CN303226192S ,2015-05-27

[9]

晶圆清洗机 [P].

马岩 ;

白雪峰 ;

荣宇 ;

郝鑫 .

中国专利 :CN203760441U ,2014-08-06

[10]

晶圆清洗机 [P].

孙雅华 ;

吕修壮 ;

李伟平 ;

张财宝 .

中国专利 :CN222581111U ,2025-03-07

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