晶圆清洗机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510790327.1

申请日：

2025-06-13

公开(公告)号：

CN120325616A

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

张杭军张江水王凯靳韶波刘明潇赵文杰

申请人：

杭州中为光电技术有限公司浙江求是半导体设备有限公司浙江晶盛机电股份有限公司

申请人地址：

311103 浙江省杭州市临平区余杭经济技术开发区顺达路500号1幢201室

IPC主分类号：

B08B3/12

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/677 B08B1/12 B08B1/20 B08B1/34 B08B13/00

代理机构：

杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329

代理人：

许红平

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省绍兴市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-12	授权	授权
2025-07-18	公开	公开
2025-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B08B 3/12申请日:20250613

共 50 条

[1]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616B ,2025-09-12

[2]

晶圆清洗机 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222790111U ,2025-04-25

[3]

晶圆清洗机 [P].

林楚龙 .

中国专利 :CN202146879U ,2012-02-22

[4]

晶圆清洗机和晶圆清洗方法 [P].

邹静 .

中国专利 :CN120319692A ,2025-07-15

[5]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN307370268S ,2022-05-27

[6]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

[7]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN214488000U ,2021-10-26

[8]

晶圆清洗机 [P].

李健 ;

张彦平 ;

黄建军 ;

李成江 ;

张明思 .

中国专利 :CN206382286U ,2017-08-08

[9]

晶圆清洗机 [P].

杨再林 ;

舒雄 .

中国专利 :CN303226192S ,2015-05-27

[10]

晶圆清洗机 [P].

马岩 ;

白雪峰 ;

荣宇 ;

郝鑫 .

中国专利 :CN203760441U ,2014-08-06

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