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晶圆传输装置及半导体设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411535472.7
申请日：
2024-10-31
公开(公告)号：
CN119050029A
公开(公告)日：
2024-11-29
发明(设计)人：
方庆银
杨勇
苑飞虎
杨鸿志
申请人：
深圳市新凯来技术有限公司
申请人地址：
518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道中科谷6栋
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
何瀚韬;臧建明
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20241031 |
| 2024-11-29 | 公开 | 公开 |
| 2025-01-28 | 授权 | 授权 |