曝光方法、装置、计算机设备、存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411322507.9

申请日：

2024-09-20

公开(公告)号：

CN118915402A

公开(公告)日：

2024-11-08

发明(设计)人：

李钊颖

申请人：

上海积塔半导体有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区云水路600号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

郭凤杰

法律状态：

公开

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	公开	公开
2024-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240920

共 50 条

[1]

曝光调整方法、装置、计算机设备和存储介质 [P].

黄磊杰 .

中国专利 :CN109510948A ,2019-03-22

[2]

曝光检测方法、装置、计算机设备和存储介质 [P].

刘艳 .

中国专利 :CN119357004A ,2025-01-24

[3]

优化包围曝光方法、系统、存储介质及其计算机设备 [P].

林华集 ;

郑腾凯 .

中国专利 :CN113973180A ,2022-01-25

[4]

问答方法、装置、计算机设备、计算机可读存储介质 [P].

柏雪 ;

韩剑平 ;

宋磊 ;

刘芳芳 ;

艾若琳 .

中国专利 :CN119025659A ,2024-11-26

[5]

数据存储方法、装置、计算机设备、存储介质 [P].

陈汝龙 ;

吴大宝 .

中国专利 :CN118151850A ,2024-06-07

[6]

签名方法、装置、计算机设备、存储介质 [P].

吴江焕 ;

李泽鑫 .

中国专利 :CN114329627A ,2022-04-12

[7]

测试方法、装置、计算机设备、存储介质 [P].

吴滢 ;

俞科峰 ;

李嫚 ;

胡颖茂 ;

张利平 .

中国专利 :CN117194221B ,2025-11-07

[8]

跳转方法、装置、计算机设备、存储介质 [P].

张龙璨 .

中国专利 :CN115495679B ,2025-12-19

[9]

跳转方法、装置、计算机设备、存储介质 [P].

张龙璨 .

中国专利 :CN115495679A ,2022-12-20

[10]

标定方法、装置、计算机设备、存储介质 [P].

高宝健 ;

赖俊霖 ;

杨小合 ;

王先峰 .

中国专利 :CN117456008A ,2024-01-26

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